Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Linkki verkkoaineistoon
(Useita organisaatioita)
isbn9789526072883.pdf
(Aalto-yliopisto - Aaltodoc)
Tallennettuna:
Genre | |
---|---|
Ulkoasu |
Julkaistu myös verkkoaineistona xvi, 181 sivua : kuvitettu ; 25 cm |
Kieli |
englanti |
Tiivistelmän kieli |
suomi |
Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
[2017]
|
Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, elektroniikan ja nanotekniikan laitos, 2017 |
Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2017, 23. VTT Science, ISSN 2242-119X; 147. |
Luokitus | |
Aiheet | |
Valmistaja | Helsinki : Unigrafia Oy, 2017. |
Lisätiedot | Mari Laamanen |
Verkkoaineisto (PDF, Aalto) |
978-952-60-7288-3 |
Verkkoaineisto (PDF, VTT) |
978-951-38-8509-0 |
ISBN |
978-952-60-7289-0 pehmeäkantinen Aalto 978-951-38-8512-0 pehmeäkantinen VTT |
Standarditunnukset |
(FI-MELINDA)010862314 20230913144035.0 |