Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Amorphous molybdenum-based thin films for surface micromachining
Linkki verkkoaineistoon
(Useita organisaatioita)
isbn9789526072883.pdf
(Aalto-yliopisto - Aaltodoc)
Linkki verkkoaineistoon
(Turun yliopisto)
Tallennettuna:
| Ulkoasu |
181 sivua Julkaistu myös verkkoaineistona |
|---|---|
| Kieli |
englanti |
| Alkuteoksen kieli |
englanti |
| Tiivistelmän kieli |
suomi |
| Julkaisija |
Helsinki :
Aalto University,
[2017]
|
| Opinnäyte | Väitöskirja : Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, 2017 |
| Sarja | Aalto University publication series, Doctoral dissertations, ISSN 1799-4934; 2017, 23. VTT Science, ISSN 2242-119X; 147. |
| Luokitus | |
| Aiheet | |
| Valmistaja | Helsinki : Unigrafia, 2017. |
| Lisätiedot | Mari Laamanen |
| Verkkoaineisto (yhteenveto-osa, PDF, Aalto) |
978-952-60-7288-3 |
| Verkkoaineisto (yhteenveto-osa, PDF, VTT) |
978-951-38-8509-0 |
| ISBN |
978-952-60-7289-0 pehmeäkantinen Aalto 978-951-38-8512-0 pehmeäkantinen VTT |