Puolijohdekomponenttien ja -materiaalien sähköinen karakterisointi pyyhkäisyelektronimikroskooppia käyttäen

QR-koodi

Puolijohdekomponenttien ja -materiaalien sähköinen karakterisointi pyyhkäisyelektronimikroskooppia käyttäen

https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/75204

http://www.urn.fi/URN:NBN:fi:aalto-2020120234043

Maisterivaiheen työ

Leinonen, Kari ; Ronkainen, Hannu ; Teknillinen korkeakoulu ; Helsinki University of Technology ; Sähkötekniikan osasto ; Sinkkonen, Juha ; Aalto-yliopisto ; Aalto University

1983

Tallennettuna:

Kieli

suomi

Aiheet

pyyhkäisyelektronimikroskooppi

jännitekontrasti

diffuusiopitoisuus

ISOCMOS

Henkilökuntanäyttö