Plasma-aktivierte Gasphasenabscheidung dünner harter Schichten aus einigen metallorganischen Verbindungen von Titan und Silizium
Plasma-aktivierte Gasphasenabscheidung dünner harter Schichten aus einigen metallorganischen Verbindungen von Titan und Silizium
Tallennettuna:
| Kieli |
saksa |
|---|---|
| Alkuteoksen kieli |
saksa |
| Julkaisija |
Tübingen,
1992.
|
| Opinnäyte | Väitöskirja |